설계 레퍼런스

Reference

인공지능 로봇 기반의 커스텀 자동화 솔루션

Reference 모바일웨이퍼

반도체 웨이퍼 이송용 모바일 매니퓰레이터
DATE2026-03-27

 

여러 대의 웨이퍼 증착 장비에 대해 자동으로 웨이퍼를 로딩/언로딩하며, 이동형 플랫폼과 협동로봇으로 구성된 반도체 전용 로봇 시스템